实验室简介

  欢迎光临刘世元教授研究组——纳米光学测量实验室。


  纳米制造是指产品特征尺寸为纳米量级的制造技术,是连接纳米科学基础研究与纳米技术应用产品之间的重要桥梁。为使纳米科技产生更为广泛的社会影响并使人们日常生活从中真正受益,基于纳米科技的产品制造必须满足可靠性、可重复性、经济性以及商业可行性等多方面的要求,而纳米测量技术及仪器正是实现纳米制造的关键。


  在刘世元教授带领下,纳米光学测量研究组依托于武汉光电国家实验室(筹)和数字制造装备与技术国家重点实验室,致力于纳米测量相关的理论方法研究及仪器设备开发,特别是探索非接触、无损、高效的测量技术,旨在实现纳米制造工艺的可操纵性、可预测性、可重复性和可扩展性。


  纳米光学测量研究组目前重点研究但也不局限于光学方法,如光谱反射测量技术、光谱椭偏测量技术以及Mueller矩阵偏振测量技术,以实现对纳米结构关键尺寸、套刻、侧墙角、线边粗糙度、线宽粗糙度、全三维形貌的测量与表征。


  纳米光学测量研究组目前也同时研究光学光刻中的若干基础理论与关键技术问题,包括部分相干成像理论、三维掩模建模、光学临近校正、光源掩模优化、逆光刻技术、调焦调平传感器、偏振像差建模与检测、波像差检测等。

欢迎加入

2019年研究生招生工作已经圆满结束,2020年NOM研究组希望继续招收博士生和硕士生,真诚欢迎勤奋好学、能吃苦、肯动脑筋、有责任心的同学加入。我们希望有意加入的同学具有扎实的数理基础,学习和自学能力强,能熟练运用英文进行论文写作与交流,对微纳米测量技术特别是基于光学的测量技术深有兴趣。希望在这个严谨认真而又宽松和谐的集体里,度过充实而有意义的科研学习时光。

另外,NOM研究组希望招聘博士后2名,招聘信息长年有效,有意者请发来个人简历及论文代表作3篇,欢迎加入!

联系方式:华中科技大学 机械学院 先进制造大楼 B310室

邮政编码:430074

联系电话:027-87559543, 87558045

电子信箱:shyliu@hust.edu.cn

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