Nanoscale and Optical Metrology (NOM) Group

刘世元
教授

刘世元，1970年出生，华中科技大学机械科学与工程学院、光学与电子信息学院双聘教授，博士生导师；国家杰出青年科学基金获得者，国家科技创新领军人才，湖北省“纳米光学测量技术与仪器”创新群体负责人；华中科技大学集成电路测量装备研究中心主任，湖北光谷实验室集成电路测量检测装备技术创新中心主任，武汉光电国家研究中心、数字制造装备与技术国家重点实验室学术带头人；国际测量与仪器委员会委员，中国仪器仪表学会显微仪器分会副理事长，中国微米纳米技术学会理事，中国计量测试学会计量仪器专业委员会常务委员，中国机械工程学会微纳制造技术分会常务委员，中国光学学会光学测试专业委员会委员，湖北省仪器仪表学会副理事长。 主要从事纳米光学测量技术与仪器、集成电路IC制造在线测量技术与装备、光刻成像理论与计算光刻、新型椭偏仪研制与光电材料表征测量等方面的研究工作，致力于光学工程、精密机械、仪器科学、集成电路、光电材料等学科的交叉融合，强调基础研究与产业应用并重。先后主持国家自然科学基金（7项，包括国基金杰青项目、重大仪器项目和重点项目）、科技部首批国家重大科学仪器设备开发专项、国家科技重大专项等国家级科研项目30余项。获湖北省技术发明一等奖、日内瓦国际发明金奖等科技奖励，发表学术论文200余篇，获授权国际国内发明专利100余件，国内外重要学术会议特邀报告50余次。

汤自荣
教授

汤自荣，1968年9月生，华中科技大学机械学院机电系和数字制造装备与技术国家重点实验室教授，博士生导师。1990年北京化工大学获化学工程本科毕业，2001年获美国加州大学尔湾分校材料科学与工程专业博士学位。2001-2004年在美国硅谷MegaSense和Sensarray Inc.从事微机电系统领域的研发工作。2005年加入华中科技大学，主要研究领域是微纳米制造和纳米测量技术及新型微纳器件开发，是教育部长江学者创新团队“微纳米制造与纳米测量技术”的核心成员。参与和承担了国家自然科学基金， 973，863和重大仪器专项等多项国家级科研课题项目，发表论文100余篇，申请国家专利20余项。

江　浩
教授

江浩，1979年出生，于2000年在华中科技大学获机械工程及其自动化专业和财务管理专业学士学位，2004年在华中科技大学获机械电子工程硕士学位。2011年在美国佛罗里达理工学院获机械工程博士学位。2004年至2008年分别在上海微电子装备有限公司和美国特灵空调系统亚洲研发中心担任软件系统工程师和高级软件工程师，从事高精密运动控制系统软件研制和大型商用中央空调控制系统设计。2011年至2014年在美国德克萨斯大学阿灵顿分校任博士后研究员、兼职讲师。从2014年起任职华中科技大学机械学院副教授。研究方向为基于偏振光学的多物理量测量、微纳尺度力学量测量、以及基于智能/生物材料的先进测量技术和基于模型的计算测量技术研究。

夏　奇
教授

夏奇，华中科技大学机械学院教授、博士生导师、机械电子信息工程系主任。华中科技大学机械专业学士、硕士，香港中文大学自动化与计算机辅助工程专业博士。主要从事结构拓扑优化理论与方法研究。获教育部自然科学一等奖，获湖北省杰出青年基金。主持国家自然科学基金项目4项。第一或通讯作者SCI论文40余篇，授权发明专利10余项

陈修国
教授

陈修国，1984年出生，2007年毕业于山东理工大学机械设计制造及其自动化专业，获工学学士学位；2009年毕业于华中科技大学机械电子工程专业，获硕士学位；2013年在华中科技大学获机械工程博士学位，同年进入华中科技大学材料学院博士后流动站；2016年6月出站，留校工作。2016年12月至2018年8月期间，作为日本学术振兴会(JSPS)外国人特别研究员赴日本东北大学合作交流。主要研究方向是微纳光学测量技术与仪器。

谷洪刚
教授

谷洪刚，1986年出生，2011年和2016年分别获得华中科技大学机械工程学士和博士学位，2016-2020年在华中科技大学仪器科学与技术博士后流动站工作，2020年6月出站后留校，历任讲师、副教授、教授。主要从事微纳光学测量技术、仪器与应用方面研究，包括先进光谱椭偏测量、计算光学成像、集成电路测量检测、微纳结构形貌测量、低维材料光学与介电性质研究、半导体材料与器件测量表征、叠层光电器件光学建模仿真与优化设计、超表面/超结构设计与应用等。

朱金龙
研究员

朱金龙，1988年出生，分别于2010年和2015年在华中科技大学机械学院获工学学士与博士学位。自2015年9月至2020年9月于美国伊利诺伊大学香槟分校从事博士后研究，并于2018年1月至2020年9月担任伊利诺伊大学香槟分校—麻省理工学院联合项目“高蒸汽压工况环境扫描电子显微镜及其在微纳尺度液滴冷凝高分辨率成像中的运用”主要负责人。从2020年11月起任职华中科技大学机械学院研究员（博士生导师）。主要研究方向为光电测量芯片的设计、优化和制造技术，以及面向工业（主要包括半导体集成电路芯片的纳米尺度测量和物体3D结构扫描成像领域）的光学量测技术与装备研发。

刘佳敏
博士后，2020-

刘佳敏，1994年出生，2014年毕业于武汉理工大学机电工程学院机械工程及自动化专业，获工学学士学位，2014年免试攻读华中科技大学机械工程专业工程硕士学位，并加入纳米光学测量组，2016年获得工程硕士学位，并于同年继续攻读机械工程博士学位，主要研究方向为超快椭偏仪。

熊　圆
机械工程师

熊圆，1991年生，2019年毕业于西南科技大学，机械设计制造及其自动化专业，获工学学士学位，8年工作经验。于华中科技大学机械科学与工程学院纳米光学研究中心任科研助理，从事结构设计及实验室日常管理

赵云霞
科研助理

赵云霞，毕业于西安交通大学材料科学专业，获得硕士学位。主要从事纳米实验室仪器维护和项目文档管理工作。

尹际婕
秘书

尹际婕,1995年出生，毕业于华中师范大学会计学专业，获管理学学士学位。现任职纳米光学测量研究组秘书，负责研究组日常事务。

杨　璐
科研助理

杨璐，毕业于武汉理工大学工业设计专业，获文学学士学位。现任职纳米光学测量研究组科研助理，负责研究组会务组织与对外宣传工作。

郭少鹏
博士研究生，2021-

郭少鹏，1997年出生，2019年毕业于郑州大学机械工程学院，获工学学士学位，后就读于华中科技大学机械科学与工程学院，于2021年6月获机械工程专业工程硕士学位，同年9月转为博士，并加入纳米光学测量组。研究方向：计算光刻/计算成像。

陈文宇
博士研究生，2021-

陈文宇，1998年出生，2019年毕业于四川大学机械设计制造及其自动化专业，获工学学位；同年9月攻读华中科技大学机械工程专业硕士学位；2021年9月以硕博连读的形式加入纳米光学测量研究组，攻读博士学位，主要研究方向为基于集成光学的测量器件。

刘　力
博士研究生，2021-

刘力，1995年生，2021年获得大连理工大学机械工程专业硕士学位。同年9月并加入纳米光学测量小组，研究方向EUV纳米缺陷检测

胡　静
博士研究生，2021-

胡静，1996年生，2019年毕业于西南大学机械设计制造及其自动化专业，获得工学学士学位。于2019年12月加入纳米光学测量研究中心

牟春晓
博士研究生，2021-

牟春晓，1993年出生，2015年毕业于华中科技大学机械科学与工程学院机械设计制造及其自动化专业，获得工学学士学位。2020年在德国汉诺威大学获得机械工程硕士学位。于2021年进入纳米光学测量研究组攻读博士学位，研究方向是计算光刻。

陈林雅
博士研究生，2021-

陈林雅。1999年生，2019年6月毕业于东北大学机械工程与自动化专业，获得工学学位。2019年9月加入纳米测量光学研究组

刘　硕
博士研究生，2022-

刘硕，1997年生，2019年6月毕业于中国海洋大学机械设计制造及其自动化专业，获工学学士学位。于2019年9月加入纳米光学测量研究中心。

龚　明
博士研究生，2022-

博士研究生龚明龚明，1998年出生，2020年6月毕业于武汉理工大学机电学院，获工学学士学位。2020年9月加入NOM课题组，主要研究方式为DUV椭偏仪

张家豪
博士研究生，2022-

博士研究生张家豪，1998年出生，2020.6月毕业于华中科技大学机械学院机械设计制造及其自动化专业，获得工学学士学位。2020年9月，加入纳米光学测量组攻读硕士学位，研究方向为关键尺寸小角X射线散射测量

张劲松
博士研究生，2022-

博士研究生张劲松张劲松，1998年出生，2020.6月毕业于华中科技大学机械学院机械设计制造及其自动化专业，获得工学学士学位。2020年9月，免试攻读华中科技大学机械工程硕士学位，并加入纳米光学测量组，2022年获得工程硕士学位，并于同年继续攻读机械工程博士学位，主要研究方向为超分辨缺陷检测。

吴启哲
博士研究生，2022-

吴启哲，1994年生，2018年毕业于武汉科技大学机械自动化学院，获工程硕士学位，于2022年9月申请考核攻读华中科技大学工程博士学位，并加入纳米光学测量研究组。

何玭炫
博士研究生，2023-

何玭炫，1999年出生，2021年6月毕业于武汉大学动力与机械学院机械设计制造及其自动化专业，获得工学学士学位。2021年九月，免试攻读华中科技大学机械工程硕士学位，并加入纳米光学测量组，研究方向为EUV掩膜衍射场计算。

刘　哲
博士研究生，2023-

刘哲，1995年出生，2018年毕业于郑州大学机械工程专业，获工学学士学位；2023年毕业于山西大学控制工程专业，获工学硕士学位。与2023年9月加入华中科技大学机械科学与工程学院纳米光学测量研究组攻读博士学位，主要研究方向为冷阴极X射线源研究。

陈浩锋
博士研究生，2023-

博士研究生陈浩峰陈浩锋，1998年出生，2020年毕业于东北大学机械工程与自动化学院，获工学学士学位。同年9月加入纳米光学测量研究组。主要研究方向为计算光刻

赵　杭
博士研究生，2022-

赵杭，1998年生，2022年毕业于湖北工业大学仪器仪表工程专业，获工程硕士学位；同年9月加入纳米光学测量组攻读博士学位，研究方向为电子束缺陷检测。

陈文龙
博士研究生，2023-

陈文龙，1999年出生，2021年6月毕业于华中科技大学大学机械设计制造及其自动化专业，获工学学士学位，于2021年9月加入纳米光学测量研究中心攻读硕士学位。于2023年9月，以硕博连读形式加入纳米光学测量研究组，继续攻读机械工程博士学位，主要研究方向为穆勒矩阵椭偏测量及其应用。

于　哲
博士研究生，2023-

于哲，1998年出生，2021年6月毕业于郑州大学机械与动力工程学院，获工学学士学位。2021年9月加入NOM课题组，研究方向为基于波前传感技术的纳米三维测量技术。

李泽迪
博士研究生，2023-

李泽迪，1998年出生，2020年6月毕业于华中科技大学机械学院机械设计制造及其自动化专业，获得工学学士学位。2021年9月加入纳米光学测量组，研究方向为计算光学成像。

钟海硕
博士研究生，2023-

钟海硕，1997年出生，2021年6月毕业于中国海洋大学大学机械设计制造及其自动化专业，获工学学士学位，于2021年9月加入纳米光学测量研究中心

彭　攀
博士研究生，2024-

彭攀，2000年生，2021年7月毕业于湖南大学机械设计制造及其自动化专业，获工学学士学位。于2021年9月加入纳米光学测量研究组，主要研究方向为加工测量一体化技术。

张启航
博士研究生，2024-

张启航，2000年生，安徽六安人，2022年6月毕业于重庆大学机械与运载工程学院机械电子工程专业，获得工学学士学位。2022年9月免试攻读华中科技大学机械工程硕士学位，并加入纳米光学测量研究中心课题组。

张震阳
博士研究生，2024-

张震阳，2000年生，2022年6月毕业于华中科技大学机械科学与工程学院机械设计制造及其自动化专业，获得工学学士学位。2022年9月加入纳米光学测量研究组。

赵翔宇
博士研究生，2024-

赵翔宇，2000年生，2022年6月毕业于东北大学机械工程专业，获工学学士学位。2021年9月推荐免试进入华中科技大学。2022年8月加入纳米光学测量课题组，主要研究方向为微腔光-电子的量子相互作用。

李昀昊
硕士研究生，2023-

李昀昊，2000年出生，2023年6月毕业于华中科技大学机械设计制造及其自动化专业，获得工学学士学位，于同年9月加入纳米光学测量研究中心

钟志龙
硕士研究生，2023-

钟志龙，2000年生，2023年6月毕业于湖南大学机械设计制造及其自动化专业，获学士学位，同年9月加入NOM研究中心

苏凯旋
硕士研究生，2023-

苏凯旋，2002年出生，2023年6月毕业于华中科技大学集成电路学院电子科学与技术专业，获得工学学士学位。2023年9月加入纳米光学测量研究组，主要研究方向为EUV计算光刻。

许志冕
硕士研究生，2023-

许志冕，2002年生，2023年6月毕业于华中科技大学机械科学与工程学院机械设计制造及其自动化专业，获得工学学士学位。2023年7月加入纳米光学测量研究组。

杜锦祥
硕士研究生，2023-

杜锦祥，2002年生，2023年6月毕业于华中科技大学机械设计制造及其自动化专业，获学士学位，同年9月加入NOM研究中心。

张卓晨
硕士研究生，2023-

张卓晨，2001年出生，2023年6月毕业于吉林大学机械学院，获得工学学士学位，于2023年9月加入纳米光学测量研究中心。

郑欣宇
硕士研究生，2023-

郑欣宇，2000年出生，2023年6月毕业于武汉理工大学机电工程学院机械工程专业，获工学学士学位，同年9月加入华中科技大学纳米光学测量实验室。

陈晗祺
硕士研究生，2023-

陈晗祺，2022年毕业于华中科技大学机械科学与工程学院，于2023年9月加入nom课题组，攻读硕士研究生。

郭晓珂
硕士研究生，2023-

郭晓珂，2001年5月出生，2023年6月毕业于华中科技大学船舶与海洋工程学院，2023年9月加入课题组，主要研究方向：叠层器件光电仿真。

岳　航
硕士研究生，2023-

岳航，出生于2001年，2023年6月毕业于华中科技大学机械设计制造及其自动化专业，获工学学士学位。2023年9月加入纳米光学测量研究中心，主要研究方向为椭圆偏振测量。

王　威
硕士研究生，2023-

王威，1999年生，2023年6月毕业于武汉理工大学机电工程学院，获得工学学士学位。2023年免试攻读华中科技大学机械工程硕士学位，并加入纳米光学测量研究中心

梁昊阳
硕士研究生，2023-

梁昊阳，2001年出生，2023年6月毕业于华中科技大学机械科学与工程学院机械设计制造及自动化专业，获工学学士学位，同年9月加入纳米光学测量研究中心

崔　雪
硕士研究生，2022-

崔雪，2000年生，2022年毕业于山东大学机械设计制造及其自动化专业，获工学学士学位。于2022年9月加入纳米光学测量研究组，研究方向为计算光刻。

李梦龙
硕士研究生，2022-

李梦龙，2000年出生，2022年6月毕业于华中科技大学机械学院机械设计制造及其自动化专业，获得工学学士学位。于2022年9月加入纳米光学测量研究中心。

冯献瑞
硕士研究生，2022-

冯献瑞，2000年生，2022年6月毕业于华中科技大学机械科学与工程学院机械设计制造及其自动化专业，获得工学学士学位。2022年9月加入纳米光学测量研究组，主要研究方向为数字全息光刻。

张楚苗
硕士研究生，2022-

张楚苗，1999年出生，2021年6月毕业于华中科技大学机械学院，获工学学士学位。2022年9月加入NOM课题组。

陈　侃
硕士研究生，2022-

陈侃，1999年出生，2022年6月毕业于湖南大学机械设计制造及其自动化专业，获工学学士学位，于2022年9月加入NOM课题组。

刘心沁
硕士研究生，2022-

刘心沁，2001年出生，本科毕业于华中科技大学土木与水利工程学院，同年九月加入NOM课题组，研究方向是光电化学湿法刻蚀。

邓定选
硕士研究生，2022-

邓定选，2000年出生，2022年6月毕业于华中科技大学机械设计制造及其自动化专业，获得工学学士学位，于同年9月加入纳米光学测量研究中心。

杨世龙
硕士研究生，2022-

杨世龙，2022年毕业于华中科技大学机械学院，获得工学学士学位。于2022年9月加入纳米光学测量研究中心。

王逸夫
硕士研究生，2022-

王逸夫，2000年生，2022年毕业于华中科技大学机械设计制造及其自动化专业，获得工学学士学位。于2022年9月加入纳米光学测量研究中心。

周维刚
硕士研究生，2022-

周维刚，1999年出生，2022年6月毕业于大连理工大学机械工程学院机械设计制造及其自动化专业，获工学学士学位。2022年免试攻读华中科技大学机械工程硕士学位，并加入纳米光学测量组。

王雪松
硕士研究生，2022-

王雪松，2000年出生，2022年6月毕业于武汉理工大学，获得工学学士学位，于同年9月加入华中科技大学纳米光学测量研究中心。