Nanoscale and Optical Metrology (NOM) Group

刘世元
教授

刘世元，1970年出生，华中科技大学机械科学与工程学院、光学与电子信息学院双聘教授，博士生导师；国家杰出青年科学基金获得者，国家科技创新领军人才，湖北省“纳米光学测量技术与仪器”创新群体负责人；华中科技大学集成电路测量装备研究中心主任，湖北光谷实验室集成电路测量检测装备技术创新中心主任，武汉光电国家研究中心、数字制造装备与技术国家重点实验室学术带头人；国际测量与仪器委员会委员，中国仪器仪表学会显微仪器分会副理事长，中国微米纳米技术学会理事，中国计量测试学会计量仪器专业委员会常务委员，中国机械工程学会微纳制造技术分会常务委员，中国光学学会光学测试专业委员会委员，湖北省仪器仪表学会副理事长。 主要从事纳米光学测量技术与仪器、集成电路IC制造在线测量技术与装备、光刻成像理论与计算光刻、新型椭偏仪研制与光电材料表征测量等方面的研究工作，致力于光学工程、精密机械、仪器科学、集成电路、光电材料等学科的交叉融合，强调基础研究与产业应用并重。先后主持国家自然科学基金（7项，包括国基金杰青项目、重大仪器项目和重点项目）、科技部首批国家重大科学仪器设备开发专项、国家科技重大专项等国家级科研项目30余项。获湖北省技术发明一等奖、日内瓦国际发明金奖等科技奖励，发表学术论文200余篇，获授权国际国内发明专利100余件，国内外重要学术会议特邀报告50余次。

汤自荣
教授

汤自荣，1968年9月生，华中科技大学机械学院机电系和数字制造装备与技术国家重点实验室教授，博士生导师。1990年北京化工大学获化学工程本科毕业，2001年获美国加州大学尔湾分校材料科学与工程专业博士学位。2001-2004年在美国硅谷MegaSense和Sensarray Inc.从事微机电系统领域的研发工作。2005年加入华中科技大学，主要研究领域是微纳米制造和纳米测量技术及新型微纳器件开发，是教育部长江学者创新团队“微纳米制造与纳米测量技术”的核心成员。参与和承担了国家自然科学基金， 973，863和重大仪器专项等多项国家级科研课题项目，发表论文100余篇，申请国家专利20余项。

江　浩
教授

江浩，1979年出生，于2000年在华中科技大学获机械工程及其自动化专业和财务管理专业学士学位，2004年在华中科技大学获机械电子工程硕士学位。2011年在美国佛罗里达理工学院获机械工程博士学位。2004年至2008年分别在上海微电子装备有限公司和美国特灵空调系统亚洲研发中心担任软件系统工程师和高级软件工程师，从事高精密运动控制系统软件研制和大型商用中央空调控制系统设计。2011年至2014年在美国德克萨斯大学阿灵顿分校任博士后研究员、兼职讲师。从2014年起任职华中科技大学机械学院副教授。研究方向为基于偏振光学的多物理量测量、微纳尺度力学量测量、以及基于智能/生物材料的先进测量技术和基于模型的计算测量技术研究。

陈修国
教授

陈修国，1984年出生，2007年毕业于山东理工大学机械设计制造及其自动化专业，获工学学士学位；2009年毕业于华中科技大学机械电子工程专业，获硕士学位；2013年在华中科技大学获机械工程博士学位，同年进入华中科技大学材料学院博士后流动站；2016年6月出站，留校工作。2016年12月至2018年8月期间，作为日本学术振兴会(JSPS)外国人特别研究员赴日本东北大学合作交流。主要研究方向是微纳光学测量技术与仪器。

朱金龙
研究员

朱金龙，1988年出生，分别于2010年和2015年在华中科技大学机械学院获工学学士与博士学位。自2015年9月至2020年9月于美国伊利诺伊大学香槟分校从事博士后研究，并于2018年1月至2020年9月担任伊利诺伊大学香槟分校—麻省理工学院联合项目“高蒸汽压工况环境扫描电子显微镜及其在微纳尺度液滴冷凝高分辨率成像中的运用”主要负责人。从2020年11月起任职华中科技大学机械学院研究员（博士生导师）。主要研究方向为光电测量芯片的设计、优化和制造技术，以及面向工业（主要包括半导体集成电路芯片的纳米尺度测量和物体3D结构扫描成像领域）的光学量测技术与装备研发。

张传维
副教授

张传维，1982年出生，分别于2004年和2006年在武汉大学获机械工程学士学位和硕士学位，2009年在华中科技大学获机械工程博士学位，并于2009年底加入纳米光学测量研究组从事博士后研究。从2011年起任职华中科技大学机械学院讲师，研究方向为纳米制造中关键尺寸、套刻、3D形貌等参数的光学测量方法。现主持一项国家自然科学基金青年基金项目“基于红外椭偏光谱的高深宽比深沟槽结构侧壁形貌参数测量方法研究”。

谷洪刚
讲师

谷洪刚，1986年出生，2011年6月毕业于华中科技大学机械学院，获得工学学士学位；2016年6月在华中科技大学获机械工程博士学位。目前，在纳米光学测量研究组从事博士后研究工作，主要研究方向为椭偏测量理论方法及椭偏测量应用开发。

熊 圆
机械工程师

熊圆，1991年生，2019年毕业于西南科技大学，机械设计制造及其自动化专业，获工学学士学位，8年工作经验。于华中科技大学机械科学与工程学院纳米光学研究中心任科研助理，从事结构设计及实验室日常管理

尹际婕
秘书

尹际婕,1995年出生，毕业于华中师范大学会计学专业，获管理学学士学位。现任职纳米光学测量研究组秘书，负责研究组日常事务。

赵云霞
科研助理

赵云霞，毕业于西安交通大学材料科学专业，获得硕士学位。主要从事纳米实验室仪器维护和项目文档管理工作。

张　松
博士后，2021-

张松，1993年出生，2016年毕业于华中科技大学机械科学与工程学院机械设计制造及其自动化专业，获工学学士学位。于2016年进入纳米光学测量研究组攻读硕士学位，2018年转为博士。主要研究方向是高速动态斯托克斯椭偏仪研制与应用。

陈　超
博士后，2022-

陈超，1992年出生。2015年毕业于华中科技大学大学机械设计制造及其自动化专业，获得工学学士学位，并于2015年9月在纳米光学测量研究组攻读硕士学位，2016年转为博士，研究方向是层析穆勒矩阵散射仪。

张林
博士研究生，2017-

张林，1994年出生，2017年毕业于西南大学农业机械化及其自动化专业，获工学学士学位，于2017年9月加入纳米光学测量小组，攻读博士学位。研究方向为超快光学测量。

郭正峰
博士研究生，2018-

郭正峰，1993年出生，2016年毕业于南京工业大学光电子材料与器件专业，获得工学学位；当年9月，免试攻读华中科技大学武汉光电国家研究中心电子科学与技术专业硕士学位。于2018年9月，以硕博连读形式加入纳米光学测量研究组，攻读机械工程博士学位，主要研究方向为穆勒矩阵椭偏测量及其应用。

刘佳敏
博士后，2020-

刘佳敏，1994年出生，2014年毕业于武汉理工大学机电工程学院机械工程及自动化专业，获工学学士学位，2014年免试攻读华中科技大学机械工程专业工程硕士学位，并加入纳米光学测量组，2016年获得工程硕士学位，并于同年继续攻读机械工程博士学位，主要研究方向为超快椭偏仪。

杨天娟
博士研究生，2019-

博士研究生杨天娟，2015年毕业于郑州大学机械工程专业，获得工学学士学位；2018年毕业于湖南大学车辆工程专业，获得工学硕士学位。于2019年9月加入华中科技大学机械科学与工程学院纳米光学测量研究组攻读博士学位，主要研究方向为关键尺寸小角X射线散射测量

盛胜
硕士研究生，2017-

盛胜，1995年出生，2017年6月毕业于华中科技大学机械学院，获工学学士学位。2017年9月加入纳米光学测量研究组。

郭少鹏
博士研究生，2021-

郭少鹏，1997年出生，2019年毕业于郑州大学机械工程学院，获工学学士学位，后就读于华中科技大学机械科学与工程学院，于2021年6月获机械工程专业工程硕士学位，同年9月转为博士，并加入纳米光学测量组。研究方向：计算光刻/计算成像。

陈文宇
博士研究生，2021-

陈文宇，1998年出生，2019年毕业于四川大学机械设计制造及其自动化专业，获工学学位；同年9月攻读华中科技大学机械工程专业硕士学位；2021年9月以硕博连读的形式加入纳米光学测量研究组，攻读博士学位，主要研究方向为基于集成光学的测量器件。

刘力
博士研究生，2021-

刘力，1995年生，2021年获得大连理工大学机械工程专业硕士学位。同年9月并加入纳米光学测量小组，研究方向EUV纳米缺陷检测

陈创创
博士研究生，2020-

博士研究生陈创创，2016年硕士毕业于大连理工大学，2020年加入NOM课题组攻读博士学位，主要研究方向为半导体前道纳米缺陷检测与测量方法

胡静
博士研究生，2021-

胡静，1996年生，2019年毕业于西南大学机械设计制造及其自动化专业，获得工学学士学位。于2019年12月加入纳米光学测量研究中心

牟春晓
博士研究生，2021-

牟春晓，1993年出生，2015年毕业于华中科技大学机械科学与工程学院机械设计制造及其自动化专业，获得工学学士学位。2020年在德国汉诺威大学获得机械工程硕士学位。于2021年进入纳米光学测量研究组攻读博士学位，研究方向是计算光刻。

陈林雅
博士研究生，2021-

陈林雅。1999年生，2019年6月毕业于东北大学机械工程与自动化专业，获得工学学位。2019年9月加入纳米测量光学研究组

刘硕
博士研究生，2022-

刘硕，1997年生，2019年6月毕业于中国海洋大学机械设计制造及其自动化专业，获工学学士学位。于2019年9月加入纳米光学测量研究中心。

龚明
博士研究生，2022-

博士研究生龚明龚明，1998年出生，2020年6月毕业于武汉理工大学机电学院，获工学学士学位。2020年9月加入NOM课题组，主要研究方式为DUV椭偏仪

张家豪
博士研究生，2022-

博士研究生张家豪，1998年出生，2020.6月毕业于华中科技大学机械学院机械设计制造及其自动化专业，获得工学学士学位。2020年9月，加入纳米光学测量组攻读硕士学位，研究方向为关键尺寸小角X射线散射测量

张劲松
博士研究生，2022-

博士研究生张劲松张劲松，1998年出生，2020.6月毕业于华中科技大学机械学院机械设计制造及其自动化专业，获得工学学士学位。2020年9月，免试攻读华中科技大学机械工程硕士学位，并加入纳米光学测量组，2022年获得工程硕士学位，并于同年继续攻读机械工程博士学位，主要研究方向为超分辨缺陷检测。

黄刘晟
硕士研究生，2020-

黄刘晟，1998年出生，2020年毕业于长春理工大学理学院，获理学学士学位，同年9月加入NOM课题组，主要研究方向为基底及环境介质对二维TMDs材料光电调控研

吴启哲
博士研究生，2022-

吴启哲，1994年生，2018年毕业于武汉科技大学机械自动化学院，获工程硕士学位，于2022年9月申请考核攻读华中科技大学工程博士学位，并加入纳米光学测量研究组。

赵杭
博士研究生，2022-

赵杭，1998年生，2022年毕业于湖北工业大学仪器仪表工程专业，获工程硕士学位；同年9月加入纳米光学测量组攻读博士学位，研究方向为电子束缺陷检测。

李文杰
硕士研究生，2020-

硕士研究生李文杰，1998年出生，2020年毕业于华中科技大学机械学院，获工学学士学位，同年9月加入NOM课题组，主要研究方向为集成电路中的缺陷检测

吴清岳
硕士研究生，2020-

硕士研究生吴清岳，1999年出生，2020年6月毕业于大连理工大学机械工程学院机械设计制造及其自动化专业，获工学学士学位。于2020年9月加入纳米光学测量研究组。目前主要研究方向为计算光刻

陈浩锋
硕士研究生，2020-

硕士研究生陈浩峰，1998年出生，2020年毕业于东北大学机械工程与自动化学院，获工学学士学位。同年9月加入纳米光学测量研究组。主要研究方向为计算光刻

张憬旻
硕士研究生，2020-

张憬旻，1998年出生，2020.6月毕业于重庆大学机械电子工程专业，获得工学学士学位。2020年9月，加入华中科技大学机械学院纳米光学测量组攻读硕士学位，研究方向为连续扫描叠层衍射成像控制系统研

侯昭茹
硕士研究生，2021-

侯昭茹，1999年生，2020年6月毕业于东北大学机械工程及其自动化专业，获得工学学位。2021年9月加入纳米测量光学研究组

何玭炫
硕士研究生，2021-

何玭炫，1999年出生，2021年6月毕业于武汉大学动力与机械学院机械设计制造及其自动化专业，获得工学学士学位。2021年九月，免试攻读华中科技大学机械工程硕士学位，并加入纳米光学测量组，研究方向为EUV掩膜衍射场计算。

钟磊
硕士研究生，2021-

钟磊，1999年出生，2021年6月毕业于中南大学机械制造及其自动化专业，获得工学学士学位。2021年9月免试攻读华中科技大学机械工程硕士学位，并加入纳米光学测量小组，研究方向EUV缺陷检测。

周玉
硕士研究生，2021-

周玉，1999年出生，2021年6月毕业于中国海洋大学机械设计制造及其自动化专业，获工学学位，于2021年9月加入纳米光学测量组攻读硕士学位。主要研究方向为EUV光刻掩膜缺陷检测。

刘章勇
硕士研究生，2021-

刘章勇，出生于1998年，2021年六月毕业于华中科技大学测控技术与仪器专业，获得工学学士学位。2021年9月加入纳米光学测量研究中心课题组。

陈文龙
硕士研究生，2021-

陈文龙，1999年出生，2021年6月毕业于华中科技大学大学机械设计制造及其自动化专业，获工学学士学位，于2021年9月加入纳米光学测量研究中心。

彭攀
硕士研究生，2021-

彭攀，2000年生，2021年7月毕业于湖南大学机械设计制造及其自动化专业，获工学学士学位。于2021年9月加入纳米光学测量研究组，主要研究方向为加工测量一体化技术。

李磊
硕士研究生，2021-

李磊，1999年生，2021年6月毕业于华中科技大学机械科学与工程学院机械设计制造及其自动化专业，获得工学学士学位。2021年7月加入纳米光学测量研究组，主要研究方向为EUV光刻仿真。

崔仁铎
硕士研究生，2021-

崔仁铎，1999年生，2021年毕业于中南大学机械设计制造及其自动化专业，获工学学士学位。于2021年9月加入纳米光学测量研究中心。

严明
硕士研究生，2021-

严明，出生于1998年，2021年六月毕业于东北大学机械工程专业，并获得工学学士学位。同年九月加入NOM课题组，他的研究方向是极紫外光刻掩模缺陷检测。

于哲
硕士研究生，2021-

于哲，1998年出生，2021年6月毕业于郑州大学机械与动力工程学院，获工学学士学位。2021年9月加入NOM课题组，研究方向为基于波前传感技术的纳米三维测量技术。

李思圻
硕士研究生，2021-

李思圻，1999年生，2021年6月毕业于中国矿业大学机电工程学院，获工学学士学位。2021年9月加入纳米光学研究组，主要研究方向为OLED器件的电学建模。

钟海硕
硕士研究生，2021-

钟海硕，1997年出生，2021年6月毕业于中国海洋大学大学机械设计制造及其自动化专业，获工学学士学位，于2021年9月加入纳米光学测量研究中心

李泽迪
硕士研究生，2021-

李泽迪，1998年出生，2020年6月毕业于华中科技大学机械学院机械设计制造及其自动化专业，获得工学学士学位。2021年9月加入纳米光学测量组，研究方向为计算光学成像。

陈云
硕士研究生，2021-

陈云，1999年出生，2021年6月毕业于武汉工程大学机电工程学院，获工学学士学位。2021年9月加入NOM课题组，主要研究方向为反射式膜厚仪。

崔雪
硕士研究生，2022-

崔雪，2000年生，2022年毕业于山东大学机械设计制造及其自动化专业，获工学学士学位。于2022年9月加入纳米光学测量研究组，研究方向为计算光刻。

李梦龙
硕士研究生，2022-

李梦龙，2000年出生，2022年6月毕业于华中科技大学机械学院机械设计制造及其自动化专业，获得工学学士学位。于2022年9月加入纳米光学测量研究中心。

张启航
硕士研究生，2022-

张启航，2000年生，安徽六安人，2022年6月毕业于重庆大学机械与运载工程学院机械电子工程专业，获得工学学士学位。2022年9月免试攻读华中科技大学机械工程硕士学位，并加入纳米光学测量研究中心课题组。

张震阳
硕士研究生，2022-

张震阳，2000年生，2022年6月毕业于华中科技大学机械科学与工程学院机械设计制造及其自动化专业，获得工学学士学位。2022年9月加入纳米光学测量研究组。

冯献瑞
硕士研究生，2022-

冯献瑞，2000年生，2022年6月毕业于华中科技大学机械科学与工程学院机械设计制造及其自动化专业，获得工学学士学位。2022年9月加入纳米光学测量研究组，主要研究方向为数字全息光刻。

赵翔宇
硕士研究生，2022-

赵翔宇，2000年生，2022年6月毕业于东北大学机械工程专业，获工学学士学位。2021年9月推荐免试进入华中科技大学。2022年8月加入纳米光学测量课题组，主要研究方向为微腔光-电子的量子相互作用。

张楚苗
硕士研究生，2022-

张楚苗，1999年出生，2021年6月毕业于华中科技大学机械学院，获工学学士学位。2022年9月加入NOM课题组。

陈侃
硕士研究生，2022-

陈侃，1999年出生，2022年6月毕业于湖南大学机械设计制造及其自动化专业，获工学学士学位，于2022年9月加入NOM课题组。

刘心沁
硕士研究生，2022-

刘心沁，2001年出生，本科毕业于华中科技大学土木与水利工程学院，同年九月加入NOM课题组，研究方向是光电化学湿法刻蚀。

邓定选
硕士研究生，2022-

邓定选，2000年出生，2022年6月毕业于华中科技大学机械设计制造及其自动化专业，获得工学学士学位，于同年9月加入纳米光学测量研究中心。

杨世龙
硕士研究生，2022-

杨世龙，2022年毕业于华中科技大学机械学院，获得工学学士学位。于2022年9月加入纳米光学测量研究中心。

王逸夫
硕士研究生，2022-

王逸夫，2000年生，2022年毕业于华中科技大学机械设计制造及其自动化专业，获得工学学士学位。于2022年9月加入纳米光学测量研究中心。

周维刚
硕士研究生，2022-

周维刚，1999年出生，2022年6月毕业于大连理工大学机械工程学院机械设计制造及其自动化专业，获工学学士学位。2022年免试攻读华中科技大学机械工程硕士学位，并加入纳米光学测量组。

王雪松
硕士研究生，2022-

王雪松，2000年出生，2022年6月毕业于武汉理工大学，获得工学学士学位，于同年9月加入华中科技大学纳米光学测量研究中心。

李超群
硕士研究生，2022-

李超群，1999年出生，2022年6月毕业于武汉理工大学汽车工程学院，获工学学士学位。2022年9月加入纳米光学测量实验室。

胡普
硕士研究生，2022-

胡普，2000年出生，2022年6月毕业于华中科技大学机械学院机械设计制造及其自动化专业，同年9月加入NOM课题组。