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研究组近期照片

(第五排从左至右)陈文龙,钟海硕,郭正峰,崔仁铎,李泽迪,盛胜,彭攀,陈超,宋黎宣,李思圻,吴清岳,牟春晓,周玉。

(第四排从左至右)陈云,李磊,郭少鹏,姜舟,邓博文,张林,方明胜,张家豪,于哲,陈文宇,马健源,孙勇。

(第三排从左至右)侯昭茹,陈浩峰,郭春付,钟磊,刘章勇,李文杰,张劲松,刘力,黄刘晟,张憬旻,张其,陈鸿飞;

(第二排从左至右)何玭炫,闵菁,杨天娟,胡静,陈林雅,赵雪楠,王才,刘硕,熊圆;

(第一排从左至右)朱金龙,尹际婕,刘佳敏,张传维,汤自荣,刘世元,江浩,陈修国,谷洪刚,张松;




当前成员 姓名 职务 Email
刘世元 教授 shyliu@hust.edu.cn
汤自荣 教授 zirong@hust.edu.cn
江 浩 教授 hjiang@hust.edu.cn
陈修国 教授 xiuguochen@hust.edu.cn
朱金龙 研究员 jinlongzhu03@hust.edu.cn
张传维 副教授 chuanweizhang@hust.edu.cn
谷洪刚 讲师 hongganggu@hust.edu.cn
熊 圆 机械工程师 yuanxiong@hust.edu.cn
尹际婕 秘书 jijieyin@hust.edu.cn
刘佳敏 博士后,2020- jiaminliu@hust.edu.cn
张 松 博士后,2021- songzhang@hust.edu.cn
陈 超 博士后,2022- chaochen@hust.edu.cn
张林 博士研究生,2017- linzhang@hust.edu.cn
郭正峰 博士研究生,2018- zhengfengguo@hust.edu.cn
杨天娟 博士研究生,2019- tianjuanyang@hust.edu.cn
陈创创 博士研究生,2020- chuangchuang@hust.edu.cn
盛胜 硕士研究生,2017- shengsheng@hust.edu.cn
陈林雅 博士研究生,2021- linyachen@hust.edu.cn
郭少鹏 博士研究生,2021- shaopengguo@hust.edu.cn
陈文宇 博士研究生,2021- wenyuchen@hust.edu.cn
刘力 博士研究生,2021- li_liu@hust.edu.cn
胡静 博士研究生,2021- jing_hu@hust.edu.cn
牟春晓 博士研究生,2021- chunxiaomu@hust.edu.cn
刘硕 博士研究生,2022- shuoliu@hust.edu.cn
龚明 博士研究生,2022- minggong@hust.edu.cn
张家豪 博士研究生,2022- jiahaozhang@hust.edu.cn
张劲松 博士研究生,2022- jinsongzhang@hust.edu.cn
黄刘晟 硕士研究生,2020- liushenghuang@hust.edu.cn
李文杰 硕士研究生,2020- wenjie_li@hust.edu.cn
吴清岳 硕士研究生,2020- qingyuewu@hust.edu.cn
陈浩锋 硕士研究生,2020- haofengchen@hust.edu.cn
张憬旻 硕士研究生,2020- jingminzhang@hust.edu.cn
侯昭茹 硕士研究生,2021- zhaoruhou@hust.edu.cn
何玭炫 硕士研究生,2021- pinxuanhe@hust.edu.cn
钟磊 硕士研究生,2021- leizhong@hust.edu.cn
周玉 硕士研究生,2021- yuzhou@hust.edu.cn
刘章勇 硕士研究生,2021- zhangyongliu@hust.edu.cn
陈文龙 硕士研究生,2021- wenlong_chen@hust.edu.cn
彭攀 硕士研究生,2021- pan_peng@hust.edu.cn
李磊 硕士研究生,2021- lei_li@hust.edu.cn
崔仁铎 硕士研究生,2021- renduocui@hust.edu.cn
严明 硕士研究生,2021- mingyan@hust.edu.cn
于哲 硕士研究生,2021- zheyu@hust.edu.cn
李思圻 硕士研究生,2021- siqili@hust.edu.cn
钟海硕 硕士研究生,2021- haishuozhong@hust.edu.cn
李泽迪 硕士研究生,2021- zedili@hust.edu.cn
陈云 硕士研究生,2021- yunchen@hust.edu.cn
已毕业成员 姓名 时间 邮箱 毕业去向
谢勇君 博士2002-2006 xyj919@163.com 暨南大学电气自动化研究所,珠海
王海珊 博士2004-2008 tomcatttt@163.com 上海海事大学机械工程系,上海
张传维 博士2006-2009 chuanweizhang@hust.edu.cn 华中科技大学机械科学与工程学院,武汉
刘 巍 博士2008-2011 weiliu.hust@gmail.com 华中光电技术研究所,武汉
张 鹏 博士2008-2013 hustzhp@qq.com 立得空间信息技术股份有限公司,武汉
陈修国 博士2009-2013 xiuguocheng@hust.edu.cn 华中科技大学机械科学与工程学院,武汉
董正琼 博士2010-2015 dongzhengqiong@126.com 湖北工业大学,武汉
周新江 博士2010-2015 zxj19880414@163.com 明导(上海)电子科技有限公司,上海
朱金龙 博士2010-2015 jinlongzhu.bryant@gmail.com 伊利诺伊大学香槟分校,伊利诺伊州厄巴纳市,美国
吕 稳 博士2011-2016 wenlv@hust.edu.cn ASML美国,美国加州
许 爽 博士2011-2016 xushuang.828@163.com 武汉科技大学,武汉
谷洪刚 博士2011-2016 hongganggu@hust.edu.cn 华中科技大学机械科学与工程学院,武汉
李伟奇 博士2011-2016 weiqili@hust.edu.cn 武汉颐光科技有限公司,武汉
杜卫超 博士2011-2016 weichaodu@hust.edu.cn 华中光电技术研究所,武汉
石雅婷 博士2012-2018 yatingshi@hust.edu.cn 华中科技大学机械科学与工程学院,武汉
陶泽 博士2014-2018 zetao@aactechnologies.com 瑞声科技研究院,武汉
钟志成 博士2014-2020 zhichengzhong@hust.edu.cn 季华实验室,佛山
柯贤华 博士2013-2020 xianhuake@hust.edu.cn 湖北工业大学,武汉
宋宝坤 博士2015-2021 bksong@hust.edu.cn 华为技术有限公司,东莞
江 浩 硕士2001-2004 hjiang@hust.edu.cn 华中科技大学机械科学与工程学院,武汉
吴小健 硕士2003-2006 13671717032@139.com 联发科科技(上海)有限公司,上海
尹作海 硕士2004-2007 yinzuohai@163.com 展讯通信(上海)有限公司,上海
蔡 巍 硕士2004-2007 shephacv@163.com 上海西门子医疗器械有限公司,上海
谢 威 硕士2005-2007 vic.xie@intelunion.com.cn 苏州知联科慧自动化有限公司
秦新义 硕士2005-2007 xinyisinger@163.com 爱立信,南京
王大为 硕士2005-2007 littlefoxes@sina.com 中国电子科技集团第五十四研究所,石家庄
冯奎景 硕士2005-2007 fkj_2001@163.com 中兴微电子技术有限公司,深圳
顾华勇 硕士2006-2008 ghyzhw@126.com 广州彼岸思精光电系统有限公司,广州
沈宏伟 硕士2006-2008 hwshen@foxmail.com 国家核电技术公司,上海
方智猷 硕士2007-2009 fzy@sf-inventment.net 上海晟沣投资有限公司
程 雪 硕士2007-2009 xchengvictor@gmail.com 东软飞利浦医疗设备系统有限责任公司,沈阳
周婷婷 硕士2008-2010 ztting311@gmail.com 平安证券有限责任公司,深圳
王丽娟 硕士2008-2010 wanglj@wtd.com.cn 海思光电子有限公司,武汉
吕 嗥 硕士2008-2010 hlv6@gatech.edu 佐治亚理工学院电气计算机工程系,亚特兰大,美国
吴小飞 硕士2009-2011 xfwu0714@gmail.com 华为技术有限公司,深圳
马 园 硕士2009-2011 ma8804@163.com 卡特彼勒(天津)有限公司,天津
陈 锦 硕士2012-2015 jin.chen@eoptics.com.cn 武汉颐光科技有限公司,武汉
李苏斌 硕士2012-2015 lisubin328719@126.com 迈瑞生物医疗电子股份有限公司,深圳
李志腾 硕士2013-2015 haoyue1007@163.com 烟台杰瑞石油服务集团股份有限公司,烟台
雷家宝 硕士2013-2015 jiabao.lei@eoptics.com.cn 武汉颐光科技有限公司,武汉
莫 冰 硕士2013-2016 bingmo@hust.edu.cn 工业和信息化部电子第五研究所,广州
袁 奎 硕士2014-2016 kuiyuan@hust.edu.cn 深圳市汇川技术股份有限公司,苏州
陈军 硕士2014-2017 jun.chen@eoptics.com.cn 武汉颐光科技有限公司,武汉
陈伟 硕士2014-2017 WeiCSir@outlook.com 深圳中兴通讯股份有限公司
牛茂刚 硕士2015-2018 mavericks@sina.com 中国电子科技集团公司第五十四研究所,石家庄
江奎 硕士2015-2018 kuijiang@hust.edu.cn 合肥美亚光电技术股份有限公司,合肥
张广朋 硕士2016-2018 gpzhang@hust.edu.cn 深圳迈瑞生物医疗电子股份有限公司,深圳
张雷 硕士2016-2018 leizhang16@hust.edu.cn OPPO广东移动通信有限公司,东莞
代恒 硕士2016-2018 hengdai@hust.edu.cn 华为技术有限公司,武汉
廖进宝 硕士2017-2020 jinbaoliao@hust.edu.cn 维沃移动通信有限公司,东莞
刘贤熠 硕士2018-2020 xianyiliu@hust.edu.cn 深圳中兴通讯股份有限公司
洪琳 硕士2017-2020 linhong17@hust.edu.cn 武汉理工大学,武汉
周军宏 硕士2017-2020 junhongzhou@hust.edu.cn 深圳市海思半导体有限公司
周志康 硕士2017-2020 zhikangzhou@hust.edu.cn
李旷逸 硕士2017-2020 kuangyili@hust.edu.cn 东北大学,日本
田姣姣 硕士2018-2020 jiaojiaotian@hust.edu.cn
郭恒琳 硕士2018-2020 henglinguo@hust.edu.cn 歌尔股份有限公司,潍坊
王一帆 硕士2018-2021 yifanwang18@hust.edu.cn
孙菁阳 硕士2018-2020 jingyangsun@hust.edu.cn 浙江晶盛机电股份有限公司
李慧敏 硕士2018-2020 huiminli@hust.edu.cn
夏小荣 硕士2018-2020 xiaorongxia@hust.edu.cn 武汉颐光科技有限公司,武汉
汪尧 硕士2018-2020 yaowang18@hust.edu.cn 阳光电源股份有限公司,合肥
王鹏 硕士2018-2021 pengwang12@hust.edu.cn 华为技术有限公司,东莞
龚雯棋 硕士2018-2021 wenqigong@hust.edu.cn
罗成峰 硕士2018-2021 chengfengluo@hust.edu.cn 汇顶科技有限公司,成都
庄锦峰 硕士2018-2021 zhuangjinfeng@hust.edu.cn 华为技术有限公司,武汉
王鑫辉 硕士2019-2021 xinhui.wang@ucdconnect.ie 都柏林大学,爱尔兰
姚远 硕士2019-2021 华为技术有限公司,武汉
王敬军 硕士2019-2021 兆易创新科技股份有限公司,合肥
鞠明岐 硕士2019-2021 小米科技有限责任公司,北京
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刘世元
教授

 

刘世元,1970年出生,华中科技大学机械科学与工程学院、光学与电子信息学院双聘教授,博士生导师;国家杰出青年科学基金获得者,国家科技创新领军人才,湖北省“纳米光学测量技术与仪器”创新群体负责人;华中科技大学集成电路测量装备研究中心主任,湖北光谷实验室集成电路测量检测装备技术创新中心主任,武汉光电国家研究中心、数字制造装备与技术国家重点实验室学术带头人;国际测量与仪器委员会委员,中国仪器仪表学会显微仪器分会副理事长,中国微米纳米技术学会理事,中国计量测试学会计量仪器专业委员会常务委员,中国机械工程学会微纳制造技术分会常务委员,中国光学学会光学测试专业委员会委员,湖北省仪器仪表学会副理事长。 主要从事纳米光学测量技术与仪器、集成电路IC制造在线测量技术与装备、光刻成像理论与计算光刻、新型椭偏仪研制与光电材料表征测量等方面的研究工作,致力于光学工程、精密机械、仪器科学、集成电路、光电材料等学科的交叉融合,强调基础研究与产业应用并重。先后主持国家自然科学基金(7项,包括国基金杰青项目、重大仪器项目和重点项目)、科技部首批国家重大科学仪器设备开发专项、国家科技重大专项等国家级科研项目30余项。获湖北省技术发明一等奖、日内瓦国际发明金奖等科技奖励,发表学术论文200余篇,获授权国际国内发明专利100余件,国内外重要学术会议特邀报告50余次。研制的仪器、软件、测量装备等多项成果已实现成果转化和产业化,在中芯国际、长江存储、华为、京东方、华星光电等微电子、光电子龙头企业获得批量应用。

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汤自荣
教授

 

汤自荣,1968年9月生,华中科技大学机械学院机电系和数字制造装备与技术国家重点实验室教授,博士生导师。1990年北京化工大学获化学工程本科毕业,2001年获美国加州大学尔湾分校材料科学与工程专业博士学位。2001-2004年在美国硅谷MegaSense和Sensarray Inc.从事微机电系统领域的研发工作。2005年加入华中科技大学,主要研究领域是微纳米制造和纳米测量技术及新型微纳器件开发,是教育部长江学者创新团队“微纳米制造与纳米测量技术”的核心成员。参与和承担了国家自然科学基金, 973,863和重大仪器专项等多项国家级科研课题项目,发表论文100余篇,申请国家专利20余项。

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江 浩
教授

 

江浩,1979年出生,于2000年在华中科技大学获机械工程及其自动化专业和财务管理专业学士学位,2004年在华中科技大学获机械电子工程硕士学位。2011年在美国佛罗里达理工学院获机械工程博士学位。2004年至2008年分别在上海微电子装备有限公司和美国特灵空调系统亚洲研发中心担任软件系统工程师和高级软件工程师,从事高精密运动控制系统软件研制和大型商用中央空调控制系统设计。2011年至2014年在美国德克萨斯大学阿灵顿分校任博士后研究员、兼职讲师。从2014年起任职华中科技大学机械学院副教授。研究方向为基于偏振光学的多物理量测量、微纳尺度力学量测量、以及基于智能/生物材料的先进测量技术和基于模型的计算测量技术研究。

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陈修国
教授

 

陈修国,1984年出生,2007年毕业于山东理工大学机械设计制造及其自动化专业,获工学学士学位;2009年毕业于华中科技大学机械电子工程专业,获硕士学位;2013年在华中科技大学获机械工程博士学位,同年进入华中科技大学材料学院博士后流动站;2016年6月出站,留校工作。2016年12月至2018年8月期间,作为日本学术振兴会(JSPS)外国人特别研究员赴日本东北大学合作交流。主要研究方向是微纳光学测量技术与仪器。

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朱金龙
研究员

 

朱金龙,1988年出生,分别于2010年和2015年在华中科技大学机械学院获工学学士与博士学位。自2015年9月至2020年9月于美国伊利诺伊大学香槟分校从事博士后研究,并于2018年1月至2020年9月担任伊利诺伊大学香槟分校—麻省理工学院联合项目“高蒸汽压工况环境扫描电子显微镜及其在微纳尺度液滴冷凝高分辨率成像中的运用”主要负责人。从2020年11月起任职华中科技大学机械学院研究员(博士生导师)。主要研究方向为光电测量芯片的设计、优化和制造技术,以及面向工业(主要包括半导体集成电路芯片的纳米尺度测量和物体3D结构扫描成像领域)的光学量测技术与装备研发。

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张传维
副教授

 

张传维,1982年出生,分别于2004年和2006年在武汉大学获机械工程学士学位和硕士学位,2009年在华中科技大学获机械工程博士学位,并于2009年底加入纳米光学测量研究组从事博士后研究。从2011年起任职华中科技大学机械学院讲师,研究方向为纳米制造中关键尺寸、套刻、3D形貌等参数的光学测量方法。现主持一项国家自然科学基金青年基金项目“基于红外椭偏光谱的高深宽比深沟槽结构侧壁形貌参数测量方法研究”。

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谷洪刚
讲师

 

谷洪刚,1986年出生,2011年6月毕业于华中科技大学机械学院,获得工学学士学位;2016年6月在华中科技大学获机械工程博士学位。目前,在纳米光学测量研究组从事博士后研究工作,主要研究方向为椭偏测量理论方法及椭偏测量应用开发。

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熊 圆
机械工程师

 

熊圆,1991年生,2019年毕业于西南科技大学,机械设计制造及其自动化专业,获工学学士学位,8年工作经验。于华中科技大学机械科学与工程学院纳米光学研究中心任科研助理,从事结构设计及实验室日常管理

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尹际婕
秘书

 

尹际婕,1995年出生,毕业于华中师范大学会计学专业,获管理学学士学位。现任职纳米光学测量研究组秘书,负责研究组日常事务。

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刘佳敏
博士后,2020-

 

刘佳敏,1994年出生,2014年毕业于武汉理工大学机电工程学院机械工程及自动化专业,获工学学士学位,2014年免试攻读华中科技大学机械工程专业工程硕士学位,并加入纳米光学测量组,2016年获得工程硕士学位,并于同年继续攻读机械工程博士学位,主要研究方向为超快椭偏仪。

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张 松
博士后,2021-

 

张松,1993年出生,2016年毕业于华中科技大学机械科学与工程学院机械设计制造及其自动化专业,获工学学士学位。于2016年进入纳米光学测量研究组攻读硕士学位,2018年转为博士。主要研究方向是高速动态斯托克斯椭偏仪研制与应用。

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陈 超
博士后,2022-

 

陈超,1992年出生。2015年毕业于华中科技大学大学机械设计制造及其自动化专业,获得工学学士学位,并于2015年9月在纳米光学测量研究组攻读硕士学位,2016年转为博士,研究方向是层析穆勒矩阵散射仪。

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张林
博士研究生,2017-

 

张林,1994年出生,2017年毕业于西南大学农业机械化及其自动化专业,获工学学士学位,于2017年9月加入纳米光学测量小组,攻读博士学位。研究方向为超快光学测量。

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郭正峰
博士研究生,2018-

 

郭正峰,1993年出生,2016年毕业于南京工业大学光电子材料与器件专业,获得工学学位;当年9月,免试攻读华中科技大学武汉光电国家研究中心电子科学与技术专业硕士学位。于2018年9月,以硕博连读形式加入纳米光学测量研究组,攻读机械工程博士学位,主要研究方向为穆勒矩阵椭偏测量及其应用。

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杨天娟
博士研究生,2019-

 

博士研究生杨天娟,2015年毕业于郑州大学机械工程专业,获得工学学士学位;2018年毕业于湖南大学车辆工程专业,获得工学硕士学位。于2019年9月加入华中科技大学机械科学与工程学院纳米光学测量研究组攻读博士学位,主要研究方向为关键尺寸小角X射线散射测量

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陈创创
博士研究生,2020-

 

博士研究生陈创创,2016年硕士毕业于大连理工大学,2020年加入NOM课题组攻读博士学位,主要研究方向为半导体前道纳米缺陷检测与测量方法

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盛胜
硕士研究生,2017-

 

盛胜,1995年出生,2017年6月毕业于华中科技大学机械学院,获工学学士学位。2017年9月加入纳米光学测量研究组。

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陈林雅
博士研究生,2021-

 

陈林雅。1999年生,2019年6月毕业于东北大学机械工程与自动化专业,获得工学学位。2019年9月加入纳米测量光学研究组

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郭少鹏
博士研究生,2021-

 

郭少鹏,1997年出生,2019年毕业于郑州大学机械工程学院,获工学学士学位,后就读于华中科技大学机械科学与工程学院,于2021年6月获机械工程专业工程硕士学位,同年9月转为博士,并加入纳米光学测量组。研究方向:计算光刻/计算成像。

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陈文宇
博士研究生,2021-

 

陈文宇,1998年出生,2019年毕业于四川大学机械设计制造及其自动化专业,获工学学位;同年9月攻读华中科技大学机械工程专业硕士学位;2021年9月以硕博连读的形式加入纳米光学测量研究组,攻读博士学位,主要研究方向为基于集成光学的测量器件。

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刘世元照片

刘力
博士研究生,2021-

 

刘力,1995年生,2021年获得大连理工大学机械工程专业硕士学位。同年9月并加入纳米光学测量小组,研究方向EUV纳米缺陷检测

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胡静
博士研究生,2021-

 

胡静,1996年生,2019年毕业于西南大学机械设计制造及其自动化专业,获得工学学士学位。于2019年12月加入纳米光学测量研究中心

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刘世元照片

牟春晓
博士研究生,2021-

 

牟春晓,1993年出生,2015年毕业于华中科技大学机械科学与工程学院机械设计制造及其自动化专业,获得工学学士学位。2020年在德国汉诺威大学获得机械工程硕士学位。于2021年进入纳米光学测量研究组攻读博士学位,研究方向是计算光刻。

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刘硕
博士研究生,2022-

 

刘硕,1997年生,2019年6月毕业于中国海洋大学机械设计制造及其自动化专业,获工学学士学位。于2019年9月加入纳米光学测量研究中心

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龚明
博士研究生,2022-

 

博士研究生龚明龚明,1998年出生,2020年6月毕业于武汉理工大学机电学院,获工学学士学位。2020年9月加入NOM课题组,主要研究方式为DUV椭偏仪

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张家豪
博士研究生,2022-

 

博士研究生张家豪,1998年出生,2020.6月毕业于华中科技大学机械学院机械设计制造及其自动化专业,获得工学学士学位。2020年9月,加入纳米光学测量组攻读硕士学位,研究方向为关键尺寸小角X射线散射测量

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张劲松
博士研究生,2022-

 

博士研究生张劲松,1998年出生,2020.6月毕业于华中科技大学机械学院机械设计制造及其自动化专业,获得工学学士学位。2020年9月,免试攻读华中科技大学机械工程硕士学位,并加入纳米光学测量组,研究方向为套刻误差测量

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黄刘晟
硕士研究生,2020-

 

黄刘晟,1998年出生,2020年毕业于长春理工大学理学院,获理学学士学位,同年9月加入NOM课题组,主要研究方向为基底及环境介质对二维TMDs材料光电调控研

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李文杰
硕士研究生,2020-

 

硕士研究生李文杰,1998年出生,2020年毕业于华中科技大学机械学院,获工学学士学位,同年9月加入NOM课题组,主要研究方向为集成电路中的缺陷检测

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吴清岳
硕士研究生,2020-

 

硕士研究生吴清岳,1999年出生,2020年6月毕业于大连理工大学机械工程学院机械设计制造及其自动化专业,获工学学士学位。于2020年9月加入纳米光学测量研究组。目前主要研究方向为计算光刻

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陈浩锋
硕士研究生,2020-

 

硕士研究生陈浩峰,1998年出生,2020年毕业于东北大学机械工程与自动化学院,获工学学士学位。同年9月加入纳米光学测量研究组。主要研究方向为计算光刻

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张憬旻
硕士研究生,2020-

 

张憬旻,1998年出生,2020.6月毕业于重庆大学机械电子工程专业,获得工学学士学位。2020年9月,加入华中科技大学机械学院纳米光学测量组攻读硕士学位,研究方向为连续扫描叠层衍射成像控制系统研

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侯昭茹
硕士研究生,2021-

 

侯昭茹,1999年生,2020年6月毕业于东北大学机械工程及其自动化专业,获得工学学位。2021年9月加入纳米测量光学研究组

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刘世元照片

何玭炫
硕士研究生,2021-

 

何玭炫,1999年出生,2021年6月毕业于武汉大学动力与机械学院机械设计制造及其自动化专业,获得工学学士学位。2021年九月,免试攻读华中科技大学机械工程硕士学位,并加入纳米光学测量组,研究方向为EUV掩膜衍射场计算。

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钟磊
硕士研究生,2021-

 

钟磊,1999年出生,2021年6月毕业于中南大学机械制造及其自动化专业,获得工学学士学位。2021年9月免试攻读华中科技大学机械工程硕士学位,并加入纳米光学测量小组,研究方向EUV缺陷检测。

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周玉
硕士研究生,2021-

 

周玉,1999年出生,2021年6月毕业于中国海洋大学机械设计制造及其自动化专业,获工学学位,于2021年9月加入纳米光学测量组攻读硕士学位。主要研究方向为EUV光刻掩膜缺陷检测。

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刘章勇
硕士研究生,2021-

 

刘章勇,出生于1998年,2021年六月毕业于华中科技大学测控技术与仪器专业,获得工学学士学位。2021年9月加入纳米光学测量研究中心课题组。

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陈文龙
硕士研究生,2021-

 

陈文龙,1999年出生,2021年6月毕业于华中科技大学大学机械设计制造及其自动化专业,获工学学士学位,于2021年9月加入纳米光学测量研究中心。

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彭攀
硕士研究生,2021-

 

彭攀,2000年生,2021年7月毕业于湖南大学机械设计制造及其自动化专业,获工学学士学位。于2021年9月加入纳米光学测量研究组,主要研究方向为加工测量一体化技术。

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李磊
硕士研究生,2021-

 

李磊,1999年生,2021年6月毕业于华中科技大学机械科学与工程学院机械设计制造及其自动化专业,获得工学学士学位。2021年7月加入纳米光学测量研究组,主要研究方向为EUV光刻仿真。

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崔仁铎
硕士研究生,2021-

 

崔仁铎,1999年生,2021年毕业于中南大学机械设计制造及其自动化专业,获工学学士学位。于2021年9月加入纳米光学测量研究中心。

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严明
硕士研究生,2021-

 

严明,出生于1998年,2021年六月毕业于东北大学机械工程专业,并获得工学学士学位。同年九月加入NOM课题组,他的研究方向是极紫外光刻掩模缺陷检测。

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于哲
硕士研究生,2021-

 

于哲,1998年出生,2021年6月毕业于郑州大学机械与动力工程学院,获工学学士学位。2021年9月加入NOM课题组,研究方向为基于波前传感技术的纳米三维测量技术。

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李思圻
硕士研究生,2021-

 

李思圻,1999年生,2021年6月毕业于中国矿业大学机电工程学院,获工学学士学位。2021年9月加入纳米光学研究组,主要研究方向为OLED器件的电学建模。

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钟海硕
硕士研究生,2021-

 

钟海硕,1997年出生,2021年6月毕业于中国海洋大学大学机械设计制造及其自动化专业,获工学学士学位,于2021年9月加入纳米光学测量研究中心

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李泽迪
硕士研究生,2021-

 

李泽迪,1998年出生,2020年6月毕业于华中科技大学机械学院机械设计制造及其自动化专业,获得工学学士学位。2021年9月加入纳米光学测量组,研究方向为计算光学成像。

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陈云
硕士研究生,2021-

 

陈云,1999年出生,2021年6月毕业于武汉工程大学机电工程学院,获工学学士学位。2021年9月加入NOM课题组,主要研究方向为反射式膜厚仪。

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