2024年4月26日，应智能制造装备与技术全国重点实验室刘世元教授邀请，韩国全北国立大学Daesuk Kim教授来我院进行学术交流，并为师生带来了一场题为 “Dynamic Spectroscopic Imaging Ellipsometry”的学术报告，报告由刘世元教授主持，集成电路测量装备研究中心以及机械科学与工程学院其他研究组的同学参加了本次报告。
学术报告在热烈的氛围中拉开了序幕。Daesuk Kim教授以其深厚的学术底蕴、生动的语言深入浅出地剖析了光谱椭偏测量原理及其在半导体领域应用的发展趋势和现存挑战。紧接着描述了动态光谱成像椭偏仪(DSIE)的基本原理和高鲁棒性的DSIE的校准补偿方法。最后介绍了高通量全晶圆检测的实验结果，以及m-DSIE和超薄膜厚度轮廓仪，突出了DSIE应用于未来半导体计量与检测领域中的高通量全图案晶圆检测的潜力。报告现场，Daesuk Kim教授还通过互动环节与在场师生进行了讨论和交流，耐心回答了大家提出来的各位学术问题，大家纷纷表示深受启发，收获颇丰。
Daesuk Kim，韩国全北国立大学机械系统工程系，教授。2002年博士毕业于获得韩国科学技术院(KAIST)机械工程专业；2004年赴美国康涅狄格大学电子与计算机工程系做博士后；2007年加入三星电子Micronano技术团队。2007年起担任韩国全北国立大学机械系统工程系助理教授，2016年晋升为教授。主要从事动态光谱椭偏/偏振测量、实时相敏三维计量、光电器件、超精密驱动系统等方面的研究。