2020年12月29日，应数字制造装备与技术国家重点实验室刘世元教授邀请，中科院微电子所周维虎研究员来我校进行学术交流，做了题为“集成电路制造工艺缺陷在线检测挑战”的学术报告。报告由刘世元教授主持，纳米光学测量研究中心以及机械科学与工程学院其他研究组的同学参加了本次报告。
周老师讲述了中国半导体事业与国外的差距以及最近若干年政策的引领方向，说明了我国与世界先进国家在半导体设计，生产和检测方面还存在着很大的差距，并就检测部分进行了详细的介绍。半导体检测存在于半导体生产的每道工序中，采用光学方法的在线缺陷检测作为一项极为高效的方法广泛应用于该领域。周老师介绍了国外进行相关研究和生产的情况，开阔了国际视野，将国际和国内的情况结合说明了该领域实现突破的必要性和急迫性。
缺陷在线检测是制约集成电路制造的关键工程技术难题，是我国集成电路成套工艺生产线的“卡脖子”环节。目前我国集成电路从研发、生产到应用所有检测设备全部受到外国控制，周老师详细介绍了国际国内集成电路缺陷在线检测技术现状，分析了亟待突破的关键技术，提出了面向十四五规划及2035规划的发展建议。
周维虎：中国科学院微电子研究所，光电中心主任，研究员，博士生导师。主要研究方向为光电精密测量技术与仪器、集成电路光学检测技术与装备、飞秒激光测量技术、大尺寸几何量计量测试技术、先进制造激光在线测量等。近年来获得国务院特殊津贴、中国机械工业科学技术发明特等奖、中科院朱李月华优秀教师奖等。