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我校和精测集团共建纳米光学测量联合研究中心

时间:2019-03-04

2019121日,由我校和武汉精测电子集团股份有限公司共建的“纳米光学测量联合研究中心”(以下简称“联合研究中心”)启动会及揭牌仪式在我校机械学院先进制造大楼举行。副校长张新亮教授、机械学院院长丁汉院士、武汉精测电子集团股份有限公司彭骞董事长、吴璐琳副总经理、上海精测半导体技术有限公司马骏总经理、武汉颐光科技有限公司张传维总经理、联合研究中心主任刘世元教授等人出席,科学发展研究院副院长高亮教授主持。



张新亮副校长在致辞中说,科学研究不仅要力争在国际高水平期刊上发表学术论文,更要使研究成果真正服务于社会、服务于国家。他表示,我校近年来的全球学术研究水平排名不断提升,联合研究中心的成立不仅有助于企业发展,也有助于进一步提升我校机械工程、光学工程等优势学科的研究水平,希望双方依托该平台展开深度交流合作,实现双方共赢。

丁汉院士在致辞中说,我校机械学科在全国优势突出,在上一轮评估中获得A+,数字制造装备与技术国家重点实验室评估为优秀。他表示,联合研究中心面向国家集成电路重大战略产业,聚焦集成电路量测检测装备,不仅切实为企业解决相关技术难题,也有利于促进学校学院的基础研究,促进科研成果真正成为引领社会经济高质量发展的核心驱动力。



彭骞董事长在致辞中介绍了精测集团过去在平板检测领域取得的成绩,以及进军半导体检测领域的发展规划。他表示,精测的产品需求与学校的研究能力在多个技术研究方向上高度匹配,双方合作能够形成优势互补,希望双方携手在半导体光学测量技术领域攻克更多难题,促进我国半导体测量事业的蓬勃发展。



马骏总经理介绍了武汉精测电子集团股份有限公司及其全资子公司上海精测半导体技术有限公司的基本情况。精测集团创立于2006年,是一家高科技上市企业(股票代码300567),专业从事平板显示测试系统研发、生产、销售与服务,在国内平板显示测试领域处于绝对领先地位。全资子公司上海精测半导体成立于2018年,确立以高端集成电路工艺控制及量测检测为主线的发展战略,业务将全面拓展至半导体检测领域。

刘世元教授介绍了联合研究中心的基本情况。首先说明了联合研究中心的成立背景,包括集成电路制造中量测检测的重要性、面临的技术挑战、国内外设备现状等;接下来介绍了联合研究中心的主要研究方向和已有研究基础,包括椭偏膜厚测量、光学关键尺寸(OCD)测量、套刻误差测量、表面缺陷检测等。随后,彭骞董事长向刘世元教授颁发了精测电子首席科学家聘书。



在大家的共同见证下,刘世元教授与马骏总经理代表双方签署了合作协议书。张新亮副校长、丁汉院士、高亮教授、彭骞董事长、吴璐琳副总经理、马骏总经理等人共同为联合研究中心揭牌。随后,大家共赴联合研究中心实验室进行参观交流。





我校机械学院李锡文教授、廖广兰教授、胡友民教授、汤自荣教授、轩建平教授、江浩副教授、陈修国副教授、夏凉副教授、武汉国家光电研究中心李晓平研究员、光电学院马冬林副研究员、武汉颐光科技有限公司技术总监李伟奇等人出席了会议。