近日，湖北省教育厅、省政府学位委员会办公室公布了湖北省2013年优秀硕士学位论文获奖名单，NOM研究组毕业生吴小飞同学的硕士学位论文《部分相干照明下的光刻掩模图形优化设计方法研究》荣获湖北省优秀硕士论文奖。
吴小飞同学于2009年7月从华中科技大学机械学院本科毕业后保送加入NOM研究组，在导师刘世元教授的指导下攻读硕士学位，于2012年1月顺利答辩毕业，目前在香港大学电机电子工程系攻读博士学位。吴小飞同学的硕士论文题目为“部分相干照明下的光刻掩模图形优化设计方法研究”，主要创新点包括：(1) 建立了基于部分相干的光刻成像模型，详细描述了基于傅立叶变换的交叉传递系数矩阵快速算法、基于相干成像系统叠加的空间像快速算法，并通过MATLAB仿真实现了空间像计算的全过程；(2) 研究了基于多边形表征的光学临近校正技术，提出了基于单个基本掩模图形的空间像计算方法，通过预先计算一个掩模图形与部分相干核函数的卷积，使用查表法实现部分相干核函数与掩模图形的快速卷积计算及空间像计算；(3) 研究了基于像素表征的逆光刻技术，对基于最速梯度下降法的掩模优化方法进行了详细解释，并通过在目标函数中加入二进制惩罚项与复杂度惩罚项，使用正则化方法提高了优化掩模的可制造性。该研究对于实际半导体产业中的光刻掩模图形优化设计具有重要的理论意义与应用价值。