2012年1月9日上午，2009级硕士研究生在机械学院先进制造大楼C303会议室进行硕士学位论文答辩。答辩委员会主席为仪器系武新军教授，委员包括刘世元教授、汤自荣教授、廖广兰教授和夏奇博士，秘书为张传维博士。
NOM研究组硕士研究生马园、吴小飞参加了此次硕士学位论文答辩，在刘世元教授的悉心指导下，他们分别以“严格耦合波分析建模算法及其在光学散射测量中的应用研究”和“部分相干照明下的光刻掩模图形优化方法研究”为题，对光学散射测量中使用严格耦合波法建模的问题与部分相干成像中掩模优化方法进行了研究。两位同学通过PPT方式依次向答辩委员们简要陈述了论文内容，并对答辩委员会委员提出的问题进行了较为准确的回答和解释。之后答辩委员会举行内部会议，对答辩和论文评阅情况进行讨论，一致认为他们已掌握本学科的基础理论和专门知识，具有从事科学研究工作的能力，论文已达到硕士学位论文的学术水平。答辩委员会一致同意通过他们的硕士学位论文答辩，建议授予他们硕士学位。
再次祝贺两位同学圆满完成硕士学业，衷心希望他们毕业后工作顺利、事业有成！