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NOM研究组刘巍同学顺利通过博士学位论文答辩

时间:2011-11-18

2011年11月11日上午9点,2008级博士研究生刘巍同学在机械学院先进制造大楼C303会议室进行博士学位论文答辩。答辩委员会主席为湖北工业大学钟毓宁教授,委员包括张新亮教授、史铁林教授、熊蔡华教授、陈蓉教授、李锡文教授、刘世元教授,秘书为张传维博士。


在刘世元教授的悉心指导下,刘巍同学以“基于灵敏度解析函数的光刻机波像差检测理论与方法研究”为题,循序渐进的开展了一系列理论与方法研究。先后研究了各种离轴照明光源解析建模理论、波像差导致的空间像畸变特性建模理论、波像差广义灵敏度函数建模理论与波像差在线检测方法,旨在为光刻机投影物镜波像差在线检测提供新原理、新方法和新途径。


答辩期间,刘巍同学通过PPT方式向答辩委员们详细陈述了论文内容,并对答辩委员会委员提出的问题逐一进行了回答。随后,答辩委员会举行内部会议,对答辩和论文评阅情况进行讨论,一致认为刘巍同学已掌握本学科坚实宽广的理论基础和系统深入的专业知识,具有独立从事科学研究工作的能力。答辩委员会一致同意通过刘巍同学的博士学位论文答辩,并建议学位委员会授予刘巍同学工学博士学位。


特此祝贺刘巍同学圆满完成博士学业,衷心希望他再接再厉,继续勇攀科研高峰!


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