2010年9月27至28日，NOM研究组刘世元教授赴青岛参加了国家自然科学基金（NSFC）重大研究计划“纳米制造的基础研究”资助项目启动会。
本次会议的议程包括：本计划2010年度获批准资助项目的汇报交流、2011年度项目申请指南讨论、本计划联合实验室的签约和授牌仪式。在开幕式上，基金委副主任姚建年院士致辞，从战略高度对本计划做出了指示：要求凝聚和稳定优秀队伍承担本计划；重申侧重基础和前沿，并着重要求坚持创新研究。专家组组长卢秉恒院士做了“2010年度项目申请和评审情况总结汇报”的报告，详细介绍了2010年度重大研究计划申报项目的分类统计情况、遴选原则、经费情况、评审过程与结果，并归纳了2010年度项目申请中体现的研究热点、存在问题等，进一步强调了“原创性”要求和正确把握“纳米制造”的内涵，最后简要通报了联合实验室的组建与部署情况。
在资助项目交流与研讨会上，刘世元教授对其今年获得的资助项目“基于广义椭偏仪的纳米结构三维形貌参数测量理论与方法”进行了详细汇报，强调纳米制造是连接纳米科学基础研究与纳米技术应用产品之间的重要桥梁，而纳米测量技术及仪器是实现规模化纳米制造的关键。为了实现包括关键尺寸、线边粗糙度、线宽粗糙度、侧壁粗糙度等在内的纳米结构三维形貌参数的快速、低成本、非破坏性精确测量，刘世元教授在资助项目中提出一种基于广义椭偏仪的纳米结构在线测量新方法，提出开展基于广义椭偏仪的纳米结构光学特性建模与测量机理、全局灵敏度分析与测量条件优化配置、形貌参数鲁棒提取与测量不确定度评估、以及纳米结构三维形貌参数测量实验等研究工作。着重解决纳米结构光学特性建模、测量条件优化配置、形貌参数鲁棒提取等基础理论与关键技术问题，以促进传统光学测量技术在纳米制造领域中的扩展应用，从而为规模化纳米制造中的在线工艺监测与优化控制提供新原理、新途径和新工具。
NSFC重大研究计划“纳米制造的基础研究”网站链接: http://nm.xjtu.edu.cn