2016年6月10日-12日,应德国物理技术研究院(Physikalisch- Technische Bundesanstalt, PTB)Bernd Bodermann博士的邀请,刘世元、江浩、张传维、陈修国、谷洪刚一行5人与访问了PTB长度所与光学所,刘世元教授在访问期间做题为”Spectroscopic Ellipsometry: Principles, Instrumentation, and Applications for Nanometrology”的学术报告。
首先,刘世元教授简要介绍了纳米光学测量研究组的背景与主要研究方向。随后从椭偏测量原理、椭偏仪仪器研制以及穆勒矩阵椭偏仪纳米结构三维形貌测量中的应用等方面系统介绍了NOM研究组近年在该领域取得的研究进展。最后,结合NOM研究组的发展规划,刘世元教授对椭偏仪创新研制与创新应用提出了展望。