2016年5月15日上午8点，NOM组2011级博士研究生李伟奇、谷洪刚、许爽三位同学在武汉国家数字装备重点实验室机械先进制造大楼东C303会议室进行了博士学位论文答辩。答辩委员会主席为清华大学物理系马辉教授、答辩委员包括浙江大学机械工程学院居冰峰教授、华中科技大学机械科学与工程学院史铁林教授、刘晓军教授和汤自荣教授，答辩秘书为夏奇副教授。
李伟奇同学的学位论文题目为“高精度宽光谱穆勒矩阵椭偏仪研制与应用研究”，该论文着重解决高精度宽光谱穆勒矩阵椭偏仪设备研制中的一系列关键技术难题，系统地建立了双旋转补偿器穆勒矩阵椭偏仪的测量误差模型，提出了相应的参数标定和误差修正方法，研制了国内首台具有完全自主知识产权的高精度宽光谱穆勒矩阵椭偏仪设备，并开展了一系列代表性测量应用研究。论文开展的工作打破了国外对高端椭偏仪产品的技术垄断，填补了我国在该领域的空白，并阐明了所研制仪器在基础科学以及如光伏太阳能、平板显示、集成电路制造等产业领域内的广阔应用前景。
谷洪刚的学位论文题目为“宽带复合波片优化设计与性能表征方法及其应用研究”，该论文围绕复合波片的优化设计、表征及应用展开。提出GCW复合波片优化设计方法和宽视场角复合波片优化设计方法；提出基于穆勒矩阵椭偏仪的复合波片特征参数表征方法，可在一次测量中给出复合波片所有偏振特征参数；提出基于复合波片特征参数波动的光轴对准方法，将复合波片光轴对准精度提高了一个量级并实现了残余光轴对准误差定量校准；提出了基于GCW复合波片的宽光谱穆勒矩阵椭偏测量系统优化设计方法，组建了适用波段范围为200-1000nm的宽光谱穆勒矩阵椭偏仪实验平台，并利用该实验平台对所提理论方法进行了实验验证。该论文研究内容有助于深入认识和理解偏振光学相关基础理论，丰富我国应用光学和光学精密测量基础理论的学术研究，提高我国偏振光学器件及相关光学仪器设备的设计加工和开发水平。
许爽同学的学位论文题目为“基于成像光强的光刻机像差原位检测理论与方法研究”，该论文以光刻机投影物镜像差为研究对象，开展了基于成像光强的原位检测理论与方法研究。从像差与成像光强的内在联系机理出发，分别提出了基于光强传输方程的波像差检测方法，建立了解析像差模型，实现了较小数值孔径下波像差快速检测；提出基于单帧光强提取的检测方法，建立了波像差37级泽尼克快速重构算法，提高了检测效率；提出了基于迭代求解的波像差检测方法，建立了二次像差畸变模型，解决了较大像差情况下的高精度原位检测难题；提出了基于解析灵敏度函数的偏振像差检测方法，为实现超大数值孔径下偏振像差检测提供了新方法。论文为像差检测实际应用中所面临的技术难题提供了有效的解决方案，为光刻机投影物镜像差的原位检测、控制和补偿提供了新原理、新途径，极大丰富了现有的像差检测技术。
三位同学通过PPT的方式依次向答辩委员会陈述了研究内容，并对答辩委员会提出的各种问题一一进行了解答。随后答辩委员会通过内部会议对答辩结果进行了讨论，一致认为三位同学都已掌握本学科坚实宽广的基础理论和系统深入的专门知识，具有独立从事科学研究工作的能力，且在答辩中陈述清楚，回答问题正确，一致通过了其工学博士学位论文答辩，建议分别授予李伟奇、谷洪刚、许爽三位同学工学博士学位。
在此祝贺三位同学圆满完成博士学业，衷心希望他们毕业以后工作顺利、事业有成。