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NOM研究组吕稳同学顺利通过博士学位论文答辩

时间:2015-11-14

2015年11月13日上午8点30分,2011级博士研究生吕稳同学在机械学院先进制造大楼A402会议室进行博士学位论文答辩。答辩委员会主席为中国科学院武汉物理与数学研究所邱衍军研究员,答辩委员包括华中师范大学数学与统计学学院严国政教授,华中科技大学机械学院康宜华教授、熊蔡华教授、吴波教授和刘世元教授,答辩秘书为江浩副教授。


吕稳同学的博士学位论文题目为“基于像素表征的光刻掩模优化方法研究”,该学位论文从掩模可制造性、鲁棒性、和掩模优化计算效率三个方面开展研究,系统的开发了一套基于像素表征的掩模优化理论模型及方法。论文的主要工作包括:提出一种基于边缘距离误差的掩模成像质量评价指标,用以直观、高效的指导掩模合成;提出基于滤波的掩模优化方法,以减少合成掩模图形的复杂度,降低掩模制造成本;建立基于统计的鲁棒掩模优化模型,以扩宽合成掩模的生产工艺窗口,并分析了生产过程中工艺参数及其统计分布对掩模优化结果的影响;建立一套掩模优化数值求解算法,提出基于瀑布式多重网格算法的掩模优化流程,以减少掩模优化的计算时间。


答辩期间,吕稳同学通过PPT向答辩委员们详细陈述了论文内容,对答辩委员会委员提出的问题一一进行了解答。随后答辩委员会通过内部会议进行讨论,一致认为吕稳同学已掌握本学科坚实宽广的理论基础和系统深入的专门知识,独立从事科学研究工作能力强,一致同意通过吕稳同学的博士学位论文答辩,建议授予吕稳同学工学博士学位。


特此祝贺吕稳同学圆满完成博士学业,衷心希望他再接再厉,更上一层楼。


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