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刘世元教授应邀参加第三届现代测试理论与技术基础中青年学者高层论坛

时间:2014-10-27

应国家自然科学基金委(NSFC)工程与材料科学部邀请,刘世元教授于2014年10月24日至26日参加了在天津举行的第三届现代测试理论与技术基础中青年学者高层论坛,并做了题为"基于椭偏散射信息的纳米结构形貌测量:原理、挑战、进展、展望"的交流报告。。


报告中,刘世元教授首先指出批量化纳米制造对测量提出的新需求,然后介绍基于椭偏散射信息的纳米结构测量基本原理,说明其实质是一种基于模型的计算测量,指出其面临可测量性、误差分析与测量不确定度评估、测量条件优化配置、正向模型快速精确求解、以及待测参数快速鲁棒提取等基础科学问题与关键技术挑战。接下来,刘世元教授从Mueller矩阵椭偏仪自主研制、计算测量基础理论与关键技术、以及Mueller矩阵椭偏仪在纳米结构测量中的探索应用等三个方面,系统介绍了NOM研究组近年来承担国家自然科学基金"基于广义椭偏仪的纳米结构三维形貌参数测量理论与方法研究"和国家重大科学仪器设备开发专项"宽光谱广义椭偏仪设备开发"等项目的最新研究进展,阐明了椭偏散射测量技术特别适合于大面积纳米结构制造过程的非破坏性、在线、精确测量。最后,刘世元教授提出两点展望和建议:一是除了干涉方法之外,纳米表面计量可以更多关注并利用光的散射、偏振、和光谱特性,从而可望实现远场、超分辨测量;二是基于大数据和逆问题的计算测量可望提供一种新的测量范式,相关基础理论与关键技术问题还有待深入研究。


本次论坛由国家自然科学基金委工程与材料科学部主办,精密测试技术及仪器国家重点实验室(天津大学、清华大学)承办,是继2009年、2012年分别在合肥和北京召开第一、第二届高层论坛后的又一次重要会议。会议围绕机械测试理论与方法、精密测试与计量、先进传感技术与系统、微纳测试技术及仪器、光学测试技术及仪器等,研讨该领域国家战略需求、技术发展态势、发展目标及关键技术问题等,明确机械测试理论及技术领域的发展战略、未来发展方向和前沿科学问题,推动机械测试基础研究、仪器装备开发及自主创新能力提升,并为机械工程学科发展战略与“十三五”规划建言献策。


论坛新闻链接:http://jyxy.tju.edu.cn/cn/new/20141027/797.shtml



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